�r(ji��)��؛����h, �DƬ�H������, һ���Ԍ�(sh��)�H�ɽ���ͬ���(zh��n)
����(gu��) KRI �����x��Դ eH ϵ�оo���O(sh��)Ӌ(j��), ������������������x��Դ, �ṩԭ�ӵȵļ�(x��)�ӹ�����, �����x��Դ eH �����Լ{���ȁ�̎����Ĥ������, ��N��̖(h��o)�M����м����I(y��), �댧(d��o)�w��(y��ng)��. �����x��Դ���������Ĥ���e����, �������p���x���Z���p������, �����O(sh��)Ӌ(j��)������������w���e�^(q��). ���w�ײ���, �S�o(h��). �����x��Դ eH �ṩһ�������ķ��������x��Դ, ����к���, �Դ����(y��ng)��, ���������� MFC �ȵȿ���ֱ�������ڸ������O(sh��)����, �����Ĥ�C(j��), load lock, �R��ϵ�y(t��ng), ���@�Ĥ�C(j��)��.����(gu��) KRI �����x��Դ eH ���ԟo(w��)�Ÿ�����������l(f��)ɢ���� >45�ɿ��ٸ��Q�(y��ng)ģ�K���x Cathode / Neutralize �к�������(gu��) KRI �����x��Դ eH ��Ҫ��(y��ng)���o���Ĥ IBAD�R�&��� PC������������� SM���e (DD)�x���g�� LIBE��W(xu��)�ĤBiased target ion beam sputter deposition (BTIBSD)Ion Beam Modification of Material Properties (IBM)
����1. �x���o���Ĥ����Ә����2. ����ʽ�ſ؞R�估���?c��)O(sh��)���A(y��)��ϴ3. ����̎��4. ����Ӳ�����Ĥ5. �ſ؞R���o���Ĥ7. ƫ���x�����ſ؞R���Ĥ
�����x��Դ eH ϵ��������̖(h��o):
��̖(h��o) | eH400 | eH1000 | eH2000 | eH3000 | eH Linear |
��� | F or HC | F or HC | F or HC | F or HC | F |
�(y��ng)늉� | 50-300 V | 50-300 V | 50-300 V | 50-250 V | 50-300 V |
�x������ | 5A | 10A | 10A | 20A | ����(j��)��(sh��)�H��(y��ng)�� |
ɢ��Ƕ� | >45 | >45 | >45 | >45 | >45 |
���w���� | 2-25 sccm | 2-50 sccm | 2-75 sccm | 5-100 sccm | ����(j��)��(sh��)�H��(y��ng)�� |
���w�߶� | 3.0“ | 4.0“ | 4.0“ | 6.0“ | ����(j��)��(sh��)�H��(y��ng)�� |
ֱ�� | 3.7“ | 5.7“ | 5.7“ | 9.7“ | ����(j��)��(sh��)�H��(y��ng)�� |
ˮ�� | ���x | ���x | �� | ���x | ����(j��)��(sh��)�H��(y��ng)�� |
F = Filament; HC = Hollow Cathode; xO2 = Optimized for O2 current1978 �� Dr. Kaufman ��ʿ������(gu��)��(chu��ng)�� Kaufman & Robinson, Inc ��˾, �аl(f��)���a(ch��n)�������x��Դ, �����x��Դ�����l�x��Դ. ����(gu��)�������x��Դ�v��(j��ng) 40 ��������l(f��)չ��ȡ�ö��(xi��ng)��. �x��Դ�V�������x����ϴ PC, �x���g�� IBE, �o���Ĥ IBAD, �x�ӞR���Ĥ IBSD ��, �Ϻ����|������(gu��)�������x��Դ�Ї�(gu��)������.������Ҫ�M(j��n)һ�����˽� KRI �����x��Դ, Ո(q��ng)��������(li��n)�j(lu��)��ʽ�Ϻ����|: �~С�� �_(t��i)�����|: ��С��T: +86-21--3511 ext 109 T: +886-3--9508 ext 161F: +86-21-- F: +886-3--0049M: +86 -883- M: +886---958�Ϻ����|���(qu��n)����, �����ؾ���
�Ϻ�������һ�Ҽ��g(sh��)����(w��)��������I(y��),���ИI(y��)�l(f��)չ�����Г�(d��n)�Ľ�ɫ��һ�N��ͨ�a(ch��n)����������(���к��Ј�(ch��ng))��ý�����҂�?y��u)��ИI(y��)�˲��ṩ�˰��������ڃ�(n��i)�ĸ�����ڣ�������ṩ��������Ӳ��֧�����ش��M(j��n)���к��Ј�(ch��ng)����Y(ji��)�ϣ�����˿��гɹ����D(zhu��n)��Ч����ʹ�ÿ��и�������Ŀǰ��(gu��)�Ҍ�(du��)�������ИI(y��)�İl(f��)չ�o���˘O�����ҕ���������(c��)���ڿ��е�Ͷ�룬�ИI(y��)��(n��i)ȱ���ļ��g(sh��)����(w��)�wϵ������֧����Ԕ��(x��)��ϢՈ(q��ng)���www.huyusw.com�W(w��ng)վ��ԃ��Ҳ�Ɂ���ھ���ԃ��
�a(ch��n)Ʒ���Q��2-��������������[��ԭ���Z���|(zh��)�V�Ͷ����x���|(zh��)�V�x�Ļ��|(zh��)]
�a(ch��n)Ʒ��̖(h��o)��K7373201
CAS̖(h��o)��37682-29-4
Ҏ(gu��)��TCI
���b��5ml
�Ϻ���������ԇ���a(ch��n)Ʒ��
C109740250 2-��-5-������� Acros 25gTC092301 2-��-5-���������ױ� TCI 25gxw010085 2-��-5-����� 98��(�քP) 1gTA195901 2-��-6- TCI 25gL1124902 57264-46-7 2-��-6-���S��, 97% Lancaster 5gxw010086 2-��-6-��������� 98��(�քP) 1gLB2402903 2-��-P-�����������} Alfa-B24029 250gTC171901 2-�ȱ������� TCI 5g80034828 95-57-8 2-�ȱ��� CP 500mlLA1190001 2-�ȱ�����, 98�� Alfa-A11900 250gAC2479501 2-�ȱ����� Aldrich 98�� 100gL0695201 2-�ȱ�������98�� Lancaster 50g30038782 89-98-5 2-�ȱ���ȩ �M(j��n)�� 100ml
K7373201 37682-29-4 2-��������������[��ԭ���Z���|(zh��)�V�Ͷ����x���|(zh��)�V�x�Ļ��|(zh��)] TCI 5ml